Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
25.03.2018, 01:32
Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники — Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Название: Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники Редактор: Достанко А. П. Издательство: Беларуская навука Год: 2016 Страниц: 250 Формат: PDF Размер: 10,46 МБ Качество: Отличное
Скачать Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
