Физические основы электронной и ионной технологии — В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхем на основе полупроводниковых и пленочных материалов и др.
Название: Физические основы электронной и ионной технологии Автор: Аброян И. А., Андронов А. Н., Титов А. И. Издательство: Высшая школа Год: 1984 Страниц: 320 Формат: DJVU, PDF Размер: 10,34 МБ Качество: отличное
Скачать Физические основы электронной и ионной технологии
